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壓電納米定位臺(tái)用于硬盤測(cè)試

更新時(shí)間: 2021-02-01

快速、準(zhǔn)確的讀取計(jì)算機(jī)硬盤磁道的寬度對(duì)于提高硬盤存儲(chǔ)信號(hào)密度和讀取時(shí)間非常重要,壓電納米定位臺(tái)納米級(jí)定位精度為高精度磁盤磁道定位提供了解決方案。

 

XP-63X壓電納米定位臺(tái)為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運(yùn)動(dòng)定位臺(tái),內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),具有剛度大、分辨率高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

 

特點(diǎn)

 行程范圍60μm

 承載能力5kg

 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S.

 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

 

剛度大 閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)有*的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),具有大機(jī)械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率,響應(yīng)時(shí)間可以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)。

閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器,可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過PID 算法對(duì)檢測(cè)到的位置信號(hào)進(jìn)行修正,從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。

 

頻率負(fù)載曲線

 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)XP-633

運(yùn)動(dòng)自由度X

行程范圍(0~120V)48μm

行程范圍(0~150V)60μm

閉環(huán)傳感器類型SGS

/開環(huán)分辨率2/0.3nm

閉環(huán)線性度0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)<30μrad

/拉力480/80N

運(yùn)動(dòng)方向剛度10N/μm

空載諧振頻率1.5kHz

/開環(huán)空載階躍時(shí)間5/3.2ms

承載能力5kg

靜電容量7.2μF

材質(zhì)

重量450g

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