芯明天壓電納米探針臺
芯明天壓電納米探針臺主要由壓電陶瓷作為驅(qū)動的壓電馬達(dá)和探針組成，在新材料、新能源、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、基礎(chǔ)科研等前沿領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用，主要作用是完成納米級別物性測量以及納米級別運(yùn)動操作，可在三維空間上實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位。隨著分析儀器技術(shù)的高端化發(fā)展，以及不斷拓寬的應(yīng)用場景，壓電納米探針臺成為了分析儀器的重要組成部分。
芯明天壓電納米探針臺的運(yùn)動形式是多樣化的，可任意選擇納米探針臺的運(yùn)動維度、運(yùn)動方向、運(yùn)動范圍、運(yùn)動精度、探針模組數(shù)量、探針夾具類型等。本次介紹一款具有中心探針平臺并搭配4個探針模組的納米探針臺系統(tǒng)。
芯明天壓電納米探針臺
此款芯明天壓電納米探針臺具有中心探針臺，并搭配4個納米探針臺模組。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
中心探針臺，可進(jìn)行XYZ三軸運(yùn)動，XY向運(yùn)動行程≥20mm，Z向運(yùn)動行程≥20μm，可在低溫真空環(huán)境下使用，使用溫度范圍在0℃到60℃，使用真空度可達(dá)到10^-4Pa。四個探針模組可進(jìn)行XYZ直線及R旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，XY方向行程≥5mm，Z向行程≥0.5mm，探針的R向旋轉(zhuǎn)達(dá)180°。
產(chǎn)品特點(diǎn)
每個探針擁有7個運(yùn)動維度
毫米運(yùn)動與微米運(yùn)動相結(jié)合
毫米行程達(dá)≥20mm
高精度可達(dá)≤2nm
使用溫度范圍達(dá)0℃到60℃
真空環(huán)境使用條件達(dá)10^-4Pa，可定制
運(yùn)動軸、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)、電學(xué)性能測試分析、材料、新能源、物理學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及其他等。
技術(shù)參數(shù)
配套控制器
E53.D1E系列壓電控制器適用于驅(qū)動芯明天壓電納米探針臺。它是單通道壓電控制器，采用數(shù)字控制，可閉環(huán)伺服或開環(huán)控制，外觀體積非常小巧，尺寸僅為105×103×30.1mm^3，非常適配于尺寸緊湊的壓電納米探針臺。
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