納米定位臺是為需要非常高精度的光學(xué)鏡片和成像系統(tǒng)而開發(fā)的。NM-Theata-2A納米定位臺鏡片只需簡單的放在平臺上,可以實(shí)現(xiàn)2毫弧度內(nèi)的分辨率達(dá)到微弧度的偏轉(zhuǎn)。微動(dòng)和閉環(huán)控制可以足以適應(yīng)高速運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用,靈活的數(shù)據(jù)閉環(huán)控制可以好的響應(yīng)現(xiàn)場環(huán)境。 納米定位臺主要特點(diǎn) 2毫弧度的范圍,高于微弧度的分辨率; 附屬設(shè)備可以提供高穩(wěn)定性和重復(fù)性; 帶寬>750Hz; 簡單彎曲的設(shè)計(jì)降低成本提高應(yīng)用范圍; EEPROM可以儲(chǔ)存數(shù)據(jù); 低噪聲,低漂移。 納米定位臺尺寸小,毫秒級響應(yīng)時(shí)間,應(yīng)用在需要高可靠性和高輸出的方面。輕質(zhì)量,高剛度,可以用于高的帶寬環(huán)境。 電容傳感器提供了高于納米級的分辨率,實(shí)現(xiàn)在10微米內(nèi)的閉環(huán)控制。柔性導(dǎo)軌使運(yùn)動(dòng)平滑,運(yùn)動(dòng)范圍可減小到5微米。因?yàn)榻Y(jié)合了數(shù)字閉環(huán)控制器,納米定位臺可以實(shí)現(xiàn)高于納米級的響應(yīng)。 |