壓電促動器的生產(chǎn)技術(shù)要求
一種壓電促動器,其包括壓電元件和保持該壓電元件的保持構(gòu)件,所述壓電元件具有形成于壓電陶瓷片表面上的一對電極,其中:
該壓電陶瓷滿足下面的要求(a)-(e)中的至少一種要求:
?。ǎ幔┒衙芏葢摰扔诨蛐∮冢担纾悖?uarr;[3],根據(jù)共振-反共振方法計算的楊氏模量Y↓[11]↑[E]應該等于或大于90GPa;
?。ǎ猓嵯禂?shù)應該等于或大于2Wm↑[-1]K↑[-1];
?。ǎ悖┰冢常啊嬷粒保叮啊娴臏囟确秶鷥?nèi),熱膨脹系數(shù)應該等于或大于3.0ppm/℃;
?。ǎ洌┰冢常啊嬷粒保叮啊娴臏囟确秶鷥?nèi),熱電系數(shù)應該等于或小于400μCm↑[-2]K↑[-1];
?。ǎ澹┰冢常啊嬷粒福啊娴臏囟确秶鷥?nèi),根據(jù)共振-反共振方法計算的機械品質(zhì)因數(shù)Qm應該等于或小于50。