P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的二維掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可 靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。 P17壓電掃描臺典型應(yīng)用 • 圖像處理與穩(wěn)定
• 掃描顯微
• 干涉/計量 • 表面檢測
• 晶圓定位 • 微操作 應(yīng)用實(shí)例
P17系列壓電掃描臺適用于需要大行 經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測試、表面結(jié)構(gòu)分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。 P17壓電掃描臺特性 •zui大位移210μm • zui大承載1kg • 通孔尺寸：60×60mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 XY二維掃描臺 P17二維壓電掃描臺中心大通孔，滿行程位移210μm。 大通孔、大行程、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快 P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動快速、高精度 掃描臺，可以實(shí)現(xiàn)XY軸210×210μm的位移行程，優(yōu)異 的結(jié)構(gòu)設(shè)計無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、zui快的 響應(yīng)時間可達(dá)5毫秒。 閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列 閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心 60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微 操作等應(yīng)用。 P17壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P17.XY200S P17.XY200K | 單位 | 運(yùn)動自由度 | X、Y | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 150/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 210/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 通孔尺寸 | 60×60 | mm | 閉/開環(huán)分辨率 | 8/5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <15 | µrad | 推/拉力 | 40/15 | N | 運(yùn)動方向剛度 | X0.2/Y0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | X240/Y400 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 30/5 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 10 | zui大承載 | 1 | kg | 靜電容量 | 3.6/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | | 重量 | 660 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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