三維XYZ向壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定 性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易 于集成。典型應(yīng)用 • 顯微成像 • 納米定位 • 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù) • 質(zhì)量保證測試 • 微車削 • 原子力顯微鏡 小體積、高精度、響應(yīng)速度快 P63系列壓電納米定位臺重要的特點是超級精密 且體積非常小巧，尺寸僅為30×24×42mm（X軸尺寸 為30×24×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。 P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是 為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè) 計的，具有超低慣性，響應(yīng)時間可達0.3ms，可配置 高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率高速掃描。 應(yīng)用實例  P63三維納米定位臺已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺切削 力測試實驗中。 三維XYZ向壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P63.X7S P63.X7K | P63.Z7S P63.Z7K | P63.XY7S P63.XY7K | P63.XZ7S P63.XZ7K | P63.XYZ7S P63.XYZ7K | 單位 | 運動自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 5.5 | 5.5 | 5.5/軸 | 5.5/軸 | 5.5/軸 | μm±20% | 大行程范圍（-20~150V） | 8 | 8 | 8/軸 | 8/軸 | 8/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | 0.2/0.1 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <5 | <5 | <10 | <10 | <15 | µrad | 推/拉力 | 10/2 | 12/2 | 8/2 | 9/2 | 7/2 | N | 運動方向剛度 | 1.5 | 2 | X1.2/Y1.4 | X1.2/Z1.5 | X0.9/Y1/Z1.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 2 | 2.5 | X1.3/Y1.9 | X1.5/Z1.6 | X0.9/Y0.95/Z1.2 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | 1.5/0.3 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 1000 | 1000 | 500 | 500 | 200 | Hz±20% | 行程 | 200 | 200 | 100 | 100 | 50 | 大承載 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.5 | 0.4 | kg | 靜電容量 | 0.8 | 0.8 | 0.8/軸 | 0.8/軸 | 0.8/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | | 重量 | 70 | 70 | 120 | 120 | 160 | g±5% |
 以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
特性： 1~3維自由組合 • 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復(fù)定位精度可達納米級 • 亞毫秒響應(yīng)時間  1-3維平移臺
P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運動方式可選。超小體積易于集成配套。 |
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