XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,實現(xiàn)X軸200μm的位移,可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔,適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實現(xiàn)二維、三維運動。 產(chǎn)品特點 一維X向運動 行程可達200μm 承載可達5kg 通孔尺寸:25×25mm 閉環(huán)重復定位精度高 開/閉環(huán)可選 真空版本可選 |