P78A.Z200系列壓電掃描臺是一維Z向運動的納米定位臺,它的行程可達 200μm,中心具有 Φ25mm 通孔,適用于透射光應(yīng)用
特點
• Z 向運動,行程達 200μm
• 可正向、臥式或倒置使用
• 可定制真空版本
應(yīng)用
• 表面檢測
• 顯微成像
• 干涉
• 半導(dǎo)體加工與測試
• 真空環(huán)境
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