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產(chǎn)品名稱:p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡

產(chǎn)品型號:P31

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動,補償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運動精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2021-03-23

P31p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡的詳細資料:

1.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡

P31俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)可提供光束偏轉(zhuǎn)角度達50mrad,這種偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)是基于成熟的平行運動學設計,兩個運動軸為垂直共面軸且具有共同的固定點,具有高分辨率及高定位精度等特點。

 

2.p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡

特性  

 • θx,θy二維偏轉(zhuǎn),zui大偏轉(zhuǎn)角度25mrad                    • 閉環(huán)定位精度高                    

 • 分辨率高                 • 溫度穩(wěn)定性高                    • 亞毫秒響應時間

3.二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad

運動方式  

   頻率負載曲線  

  閉環(huán)曲線  

閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關系。

 

  高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性  

   結構原理  

 

P31系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在成熟的、經(jīng)過FEA建模分析的鉸鏈導向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。

壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的,不易損壞且提供超高的可靠性。先進的鉸鏈/杠桿設計將慣性zui小化,允許25mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍(可將光束偏轉(zhuǎn)50mrad),且具有非??斓捻憫俣?,在毫秒級范圍。

除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動態(tài),P31還提供了亞微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實現(xiàn)了的位置控制,具有優(yōu)異的重復定位精度,通常為滿行程的0.2%。

壓電偏轉(zhuǎn)鏡(兩軸運動)是基于平行運動學設計,具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構(壓電促動器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供zui高可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn),采用橋式連接電路控制。

 

  可定制鏡片轉(zhuǎn)接座  

  驅(qū)動控制  

 

P31壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,通過控制電壓的大小,對不同的光路距離,可進行一定范圍的圓形范圍掃描,如下右圖所示。

 

  應用  

  產(chǎn)品測試  

 

       • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動  • 光束偏擺/穩(wěn)定  • 光學、激光掃描、通信  • 光學濾波器/開關  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學、穩(wěn)像 • 干涉

 

 

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