S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺(tái)，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特性：

 θx, θy 偏擺運(yùn)動(dòng)，Z向升降 • 閉環(huán)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 • 透光孔：80×80mm

典型應(yīng)用

• 掃描顯微 • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲

• 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

• 生物技術(shù) • 掩模與晶片位置調(diào)整

仿真分析

通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺(tái)。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許 *精度的運(yùn)動(dòng)，因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無(wú)間隙、無(wú)摩擦。

超高導(dǎo)向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高

S51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺(tái)，偏轉(zhuǎn) 行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達(dá)110μm。P51偏轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用 有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度?？蛇x擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其 具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米 級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。  

超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用

S51系列偏擺/傾斜、升降臺(tái)是專(zhuān)門(mén)為對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng) 用設(shè)計(jì)的，臺(tái)體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯 微鏡中。

S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。